沈陽真空產業技術創新聯盟由中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司、東北大學等24家單位發起，是我國真空行業第一家地區性質的產業聯盟。由中國科學院沈陽分院和沈陽市科學技術局的推動和組織。
沈陽真空產業技術創新聯盟成員單位覆蓋了沈陽地區與真空裝備研發、零部件制造、真空技術應用等相關的產學研用單位，以真空技術創新、真空裝備研發和產業化、真空技術應用等為主題組建成立。聯盟的目標在于促進沈陽地區真空行業的企業、高校、研究單位之間的合作，打造沈陽真空產業的品牌，推動形成較為完整的產業鏈和規模化的產業集聚效應。
