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儀器中文名稱: 超高真空濺射與蒸發
儀器型號規格: JGP450
生產廠商: 中國沈陽科學儀器中心有限公司
國別: 中國
購置日期(年): 2008-3-1
使用日期(年): 2008-9-1
主要技術指標: ① 檢測抽速：主濺室40分鐘真空度達到6.6×10-4帕；進樣室40分鐘真空度達到6.6×10-3帕；蒸發室：40分鐘真空度達到6.6×10-4帕； ② 檢測氣路：二路進氣，分MFC質量流量計控制進氣，手動進氣，備有混氣室。MFC控制范圍：0～100SCCM、0～50SCCM。 ③ 檢測鍍膜：主濺射室磁控靶輝光放電，在指定樣品鍍膜，計算機控制鍍膜時間；蒸發室：蒸發源可以蒸發材料，在指定樣品鍍膜。 ④ 檢測加熱系統：濺射室/蒸發室，室溫～600℃，程序控溫；進樣室退火：退火溫度，最高700℃（三室共用一套加熱控溫系統）。 ⑤ 檢測極限真空：主濺射室6.6×10-5帕；進樣室6.6×10-4帕；蒸發室8.0×10-5帕。 ⑥ 檢測真空漏率：主濺射室/蒸發室，停機關泵12小時后真空≤5帕；進樣室停機關泵12小時后真空≤10帕。
主要附件及功能:
本單位該儀器主要應用領域：材料, 地質礦產, 機械工程
檢測項目： 單一鍍膜、復合鍍膜、多層鍍膜
收費標準： 面議