布魯克 Cryosas 低溫硅分析系統
名稱：光譜儀
品牌：
型號：
簡介：CryoSAS 內置了一個布魯克高性能的傅立葉紅外光譜儀，閉循環的低溫制冷技術，不需要液氦。所有CryoSAS部件都是最先進的，其最新的技術滿足了多晶硅生產環境中的艱難分析工作。CryoSAS 能夠實現高水平的全自動操作，包含準確的報告及分...
申請服務
- 產品介紹
CryoSAS 內置了一個布魯克高性能的傅立葉紅外光譜儀，閉循環的低溫制冷技術，不需要液氦。所有CryoSAS部件都是最先進的，其最新的技術滿足了多晶硅生產環境中的艱難分析工作。CryoSAS 能夠實現高水平的全自動操作，包含準確的報告及分析結果。
高靈敏度：
CryoSAS 依據ASTM/SEMI MF1630標準分析淺層雜質（例如硼、磷等等），濃度可低至ppta水平。此外，依據ASTM/SEMI MF1391標準，可以分析碳/氧含量，濃度可低至ppba水平。
在低溫條件下(~12 K)，CryoSAS 硅中碳測試結果（上圖），硅中硼、磷測試結果（下圖）
閉循環低溫制冷系統：不需要耗費昂貴的低溫制冷劑
高可靠性的閉循環低溫系統冷卻檢測器和樣品倉。與液氦制冷系統相比，閉循環系統每年可以節省制冷操作費用50,000歐元，甚至更多。
CryoSAS 低溫樣品倉及9個自動化樣品架。
CryoSAS操作軟件主屏顯示了當前的樣品及選擇的分析方法
不銹鋼設計樣品倉：
方便樣品替換
樣品倉配有穩定的光學系統及自動樣品頭。樣品倉內部的大尺寸方便樣品架進入。
機械泵及渦輪泵的結合：
簡單清潔的真空系統
使用快速可靠的機械泵和渦輪泵抽真空。
堅固的9個樣品支架及精密的步進馬達：
穩定的轉移平臺及支架支持多樣品分析，高性能馬達及固體機械系統確保精確的樣品測試。樣品及樣品架在樣品倉內的安裝非常容易。特殊設計的鍍金OFHC 銅樣品架保證了溫度的均一性。
易用性：
CryoSAS 提供了適用于工業環境的簡易操作。所有的真空和制冷系統都由程序控制。冷卻和開始測量是簡單的按鈕操作。操作者無需是光譜儀專家或者真空系統專家。
專用的CryoSAS 軟件完全根據工業質量控制設計。它可以通過觸摸屏操作。操作者只需選擇想要的分析方法、輸入樣品信息，然后按下開始按鈕即可啟動測量。CryoSAS 可以全自動的冷卻樣品并開始紅外測量、評價結果、生成分析報告。
技術參數
光譜范圍：1500-280 cm-1 檢測器最佳的測試范圍
依據ASTM/SEMI MF1630標準測試單晶硅的III族 和 V族淺層雜對于3mm厚的楔形樣品，可達檢測限為：
- 10 ppta 磷
- 30 ppta 硼
依據ASTM/SEMI MF1391標準測試替代碳。此方法需要FZ法制備的無碳標準樣品以及厚度和表面都可比的待測樣品。對于厚度為3mm的楔形樣品，碳濃度檢測下限達20 ppba
CryoSAS 典型分析案例報告保函相關信息和結果
