布魯克Bruker InSight CAP 半導體計量儀是緊湊的原子分析器,是專門為一個綜合平臺CMP設計測量腐蝕半導體。布魯克Bruker InSight CAP 半導體計量儀系統擁有300毫米自動處理功能和證明寶石工廠自動化軟件。布魯克Bruker InSight CAP 半導體計量儀提供行業領先的最高精度和分辨率CMP和腐蝕、非破壞性測量,不需要模型在幾分鐘內在線計量結果,適合技術開發、占用空間小且靈活的配置,擁有最佳成本。
布魯克Bruker InSight CAP 半導體計量儀具有優越的計量能力,在先進技術節點,多重圖像光刻技術利用納米CMP過程控制要求,滿足depthof——重點需求。布魯克Bruker InSight CAP 半導體計量儀是建立在最新一代AFM掃描提供改善平面度,小于10納米,在65μm X / Y掃描范圍。系統的毫微秒示波器®V 64位AFM控制器提供5 x更快的接觸性能和快5倍調優對于提高生產率,與增強的可靠性。其DT自適應掃描模式也會導致更快的掃描和改進計量。高級功能的組合,布魯克Bruker InSight CAP 半導體計量儀分辨率分析器允許angstrom-level精密測量在宏觀碟形和侵蝕。
布魯克Bruker InSight CAP 半導體計量儀又最具價值的平臺,靈活的配置支持wafersizes從100毫米到300毫米使精密測量范圍廣泛的應用程序結束。從高產的實驗室全自動晶圓廠的洞察力帽分析器可以優化配置最具成本效益的計量解決方案。
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